单晶硅的切向纳动研究 - 2009全国青年摩擦学学术会议.pdf

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2026-1-11 13:58 | 查看全部 阅读模式

会议论文《单晶硅的切向纳动研究》发表于2009全国青年摩擦学学术会议,主要探讨了单晶硅材料在切向力作用下的纳米尺度运动行为。研究通过实验与理论分析,揭示了单晶硅表面在微小接触条件下的摩擦特性与微观机制,为微机电系统和精密加工领域提供了重要的理论依据和技术参考。

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单晶硅的切向纳动研究 - 2009全国青年摩擦学学术会议
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