会议论文《用导模共振光栅测量纳米级间隙的研究》发表于上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会。该研究探讨了利用导模共振光栅技术对纳米级间隙进行高精度测量的方法，具有重要的应用价值。论文介绍了实验原理、结构设计及测量结果，展示了该技术在微纳尺度测量中的潜力。
文档为pdf格式，0.82MB，总共5页。
举报
