SOI压力传感器及其应用 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 11:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《SOI压力传感器及其应用》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文探讨了基于绝缘体上硅(SOI)技术的压力传感器设计与性能优化,分析了其在多种环境下的应用潜力。研究展示了SOI技术在提高传感器灵敏度、稳定性和微型化方面的优势,为未来传感器发展提供了理论支持和技术参考。

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SOI压力传感器及其应用 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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