SOI超高压动态压力传感器研究 - 2009中国自动化大会暨两化融合高峰会议.pdf

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2026-1-11 11:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《SOI超高压动态压力传感器研究》发表于2009中国自动化大会暨两化融合高峰会议,主要探讨了基于SOI(Silicon on Insulator)技术的超高压动态压力传感器的设计与实现。该研究针对高压环境下的测量需求,提出了一种高灵敏度、高稳定性的传感器方案,具有广泛的应用前景。论文分析了传感器的结构特点、工作原理及性能测试结果,为后续相关研究提供了理论支持和技术参考。

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SOI超高压动态压力传感器研究 - 2009中国自动化大会暨两化融合高峰会议
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