Nb掺杂对磁控溅射BiTi3-xNbxO12薄膜结构和性能的影响 - 第十二届全国高校金相与显微分析学术年会.pdf

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2026-1-11 11:18 | 查看全部 阅读模式

会议论文《Nb掺杂对磁控溅射BiTi3-xNbxO12薄膜结构和性能的影响》探讨了铌元素掺杂对BiTi3-xNbxO12薄膜结构及性能的影响。通过磁控溅射法制备不同 Nb 含量的薄膜,并利用显微分析技术研究其微观结构与电学性能。结果表明,适量 Nb 掺杂可优化薄膜的晶体结构,提升其介电性能,为新型功能材料的开发提供了理论依据。

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Nb掺杂对磁控溅射BiTi3-xNbxO12薄膜结构和性能的影响 - 第十二届全国高校金相与显微分析学术年会
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