会议论文《谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积室的研究》探讨了利用微波等离子体技术在谐振腔中制备金刚石薄膜的实验装置与方法。该研究针对军事领域对高性能材料的需求，提出了一种新型沉积系统，优化了等离子体生成效率与薄膜质量。通过实验验证了系统的可行性，为后续应用提供了理论依据和技术支持。
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