会议论文《锥面靶溅射中薄膜的沉积速率和均匀性的研究》探讨了在锥面靶溅射过程中薄膜沉积速率与均匀性的变化规律。该研究通过实验分析了不同工艺参数对薄膜性能的影响，为提高薄膜质量提供了理论依据和技术支持。文章针对锥面结构的特点，提出了优化溅射条件的方法，对实际应用具有重要意义。
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