会议论文《脉冲激光沉积氮化铝薄膜及沉积参数对其场发射性能的影响》探讨了采用脉冲激光沉积技术制备氮化铝薄膜的方法，并分析了沉积参数对薄膜场发射性能的影响。研究结果表明，沉积条件如激光能量、基底温度和气体环境等显著影响薄膜的结构与性能，为优化氮化铝薄膜的场发射应用提供了理论依据和技术支持。
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