硅同质外延中表面形貌与生长模式的转变 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 05:47 | 查看全部 阅读模式

会议论文《硅同质外延中表面形貌与生长模式的转变》发表于第十二届全国固体薄膜会议,探讨了硅基材料在同质外延过程中的表面形貌演变及其生长模式的转变机制。研究通过实验分析与理论模拟相结合的方法,揭示了不同工艺条件下表面结构的变化规律,为优化外延生长技术提供了重要依据。

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硅同质外延中表面形貌与生长模式的转变 - 第十二届全国固体薄膜会议
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