会议论文《采用拉曼光谱研究硅烷浓度对硅薄膜结构的影响》在第11届全国固体薄膜会议上发表，探讨了不同硅烷浓度下制备的硅薄膜的结构特性。通过拉曼光谱技术，研究者分析了薄膜的结晶度与微观结构变化，揭示了硅烷浓度对薄膜质量的影响规律，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据。
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