会议论文《用原子力显微镜研究Cu薄膜的表面结构与性能》在第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会上发表。该文通过原子力显微镜技术,详细分析了铜薄膜的表面形貌和微观结构,探讨了其对材料性能的影响。研究结果为铜薄膜在微电子器件中的应用提供了重要的理论依据和技术支持。
文档为pdf格式,0.17MB,总共2页。
举报