注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 04:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究》介绍了采用注射超声喷雾热分解技术制备氧化锌(ZnO)薄膜的实验方法。该方法通过超声波将前驱体溶液雾化,并在高温下热分解形成薄膜,具有工艺简单、均匀性好等优点。研究分析了不同工艺参数对薄膜结构和性能的影响,为ZnO薄膜的制备提供了新思路。

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注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究 - 第十二届全国固体薄膜会议
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