固体材料放气量的测试及四极质谱仪分析 - 2009北京真空学会真空技术交流会.pdf

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2026-1-11 14:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《固体材料放气量的测试及四极质谱仪分析》介绍了固体材料在真空环境下放气量的测试方法,重点探讨了四极质谱仪在分析放气气体成分中的应用。该研究对提高真空系统性能具有重要意义,为相关领域的技术改进提供了理论依据和实验支持。

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固体材料放气量的测试及四极质谱仪分析 - 2009北京真空学会真空技术交流会
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