沉积气压对脉冲激光沉积GaN薄膜的场发射性能影响 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议.pdf

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2026-1-11 04:49 | 查看全部 阅读模式

会议论文《沉积气压对脉冲激光沉积GaN薄膜的场发射性能影响》探讨了不同沉积气压条件下制备的GaN薄膜在场发射性能上的差异。研究结果表明,气压对薄膜的结构和表面形貌有显著影响,进而影响其电子发射特性。该工作为优化GaN薄膜的场发射性能提供了理论依据和技术参考,具有重要的应用价值。

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沉积气压对脉冲激光沉积GaN薄膜的场发射性能影响 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议
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