微机电系统中的粗糙面效应 - 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会.pdf

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2026-1-11 03:49 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微机电系统中的粗糙面效应》发表于2010年中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会。该文探讨了微机电系统(MEMS)中表面粗糙度对器件性能和可靠性的影响,分析了不同表面处理工艺对微结构力学特性及摩擦行为的作用,为提高MEMS器件的稳定性和寿命提供了理论依据和技术参考。

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微机电系统中的粗糙面效应 - 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会
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