会议论文《ZnO单晶的P_As和Sb离子注入研究》探讨了磷、砷和锑离子注入对ZnO单晶材料特性的影响。研究通过离子注入技术改变ZnO的电学和光学性质，为开发高性能光电器件提供了理论依据和技术支持。该成果在第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议上发表，具有重要的学术价值和应用前景。
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