会议论文《SiC切割能力的表征及与多线切割的相关性研究》探讨了碳化硅(SiC)材料在切割过程中的性能表现及其与多线切割技术的关联性。该研究通过实验分析,评估了不同切割参数对SiC材料切割效率和质量的影响,为提升SiC器件制造工艺提供了理论支持和技术参考。
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