会议论文《GaN MOCVD控制系统设计与研制》介绍了用于氮化镓材料生长的MOCVD控制系统的研发成果。该系统通过优化工艺参数和实时监控技术，提高了生长效率和薄膜质量。研究针对MOCVD设备的控制策略进行了深入探讨，为高性能GaN器件的制备提供了技术支持。
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