会议论文《纳米结构铁电膜的制备、物性和微结构表征》介绍了铁电膜在纳米尺度下的制备方法及其物理性能。通过电子显微学技术,研究者对材料的微结构进行了详细表征,揭示了其与性能之间的关系。该文为铁电材料在微电子器件中的应用提供了理论支持和技术参考。
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