会议论文《用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺》介绍了针对微齿轮制造中采用的厚胶光刻技术。该研究通过优化光刻参数，提高了微结构的精度与良率，为微机电系统（MEMS）的制造提供了有效方法。论文在第四届全国信息与电子工程学术年会暨四川省电子学会曙光分会第十五届学术年会上发表，展示了厚胶光刻在微细加工领域的应用前景。
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