一种可控测量力的大量程激光干涉位移传感器 - 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

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2026-1-10 21:42 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种可控测量力的大量程激光干涉位移传感器》介绍了新型激光干涉位移传感器的设计与实现。该传感器具有大测量范围和可控制的测量力,提高了测量精度和适用性。文章详细阐述了其工作原理、结构特点及实验结果,为精密测量提供了新的解决方案。

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一种可控测量力的大量程激光干涉位移传感器 - 2010年全国几何量精密测量技术学术交流会
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