会议论文《衬底温度对射频磁控溅射沉积IMO薄膜性能的影响》发表于第13届中国光伏大会，研究了衬底温度对IMO薄膜性能的影响。通过调节衬底温度，分析其对薄膜结构、光学和电学性能的影响。结果表明，适当提高衬底温度可改善薄膜质量，增强其光电特性，为光伏器件的优化提供了理论依据。
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