真空室检漏法的原理性研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 14:58 | 查看全部阅读模式

会议论文《真空室检漏法的原理性研究》探讨了真空系统中检漏技术的基本原理与应用方法。文章分析了不同检漏手段的适用性及精度，提出了改进检漏效率的理论依据。该研究对提升真空设备的密封性能具有重要指导意义，为相关领域的技术发展提供了参考。

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