会议论文《小型电容薄膜真空计性能实验》探讨了小型电容薄膜真空计在真空测量中的应用与性能表现。该文通过实验分析,验证了其在不同真空度范围内的准确性与稳定性,为真空计量提供了可靠的数据支持。文章发表于中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会及中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会,具有重要的学术与实用价值。
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