基于RBF神经网络的薄膜厚度控制系统 - 2013先进智能制造技术发展研讨会.pdf

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2026-1-10 12:28 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于RBF神经网络的薄膜厚度控制系统》探讨了将径向基函数(RBF)神经网络应用于薄膜厚度控制的可行性。该研究针对传统控制方法在非线性系统中的不足,提出利用RBF神经网络的自学习和非线性逼近能力,实现对薄膜厚度的精确控制。通过实验验证,该方法有效提高了控制精度和响应速度,为先进智能制造技术提供了新的解决方案。

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基于RBF神经网络的薄膜厚度控制系统 - 2013先进智能制造技术发展研讨会
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