会议论文《反应溅射氧分压对In2O3薄膜光电转换性能的影响》探讨了氧分压在反应溅射过程中对氧化铟（In2O3）薄膜光电性能的影响。研究通过调节氧分压，分析其对薄膜结构、光学带隙及光电转换效率的影响，为优化In2O3薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术参考。
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