会议论文《PECVD法非晶硅与氧化非晶硅薄膜钝化硅片研究》探讨了采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备非晶硅及氧化非晶硅薄膜对硅片的钝化效果。研究旨在提高硅片表面质量，降低界面缺陷密度，从而提升太阳能电池效率。该文为光伏材料的优化提供了理论依据和技术支持。
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