MEMS加速度传感器低功耗前端读出电路设计与分析 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 10:51 | 查看全部阅读模式

会议论文《MEMS加速度传感器低功耗前端读出电路设计与分析》探讨了在2013年全国半导体器件技术、产业发展研讨会上提出的MEMS加速度传感器的低功耗读出电路设计方法。文章分析了电路结构与功耗优化策略，旨在提高传感器性能并降低能耗，为低功耗MEMS系统提供了理论支持和设计参考。

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