会议论文《掺氮纳米金刚石薄膜制备及电学性能研究》介绍了通过化学气相沉积法成功制备掺氮纳米金刚石薄膜的过程。研究分析了不同氮掺杂浓度对薄膜结构和电学性能的影响，结果表明适量的氮掺杂可显著改善薄膜的导电性，同时保持其优良的机械性能。该研究为纳米金刚石在电子器件领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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