会议论文《掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析》探讨了掺铝氧化锌材料的制备工艺及其性能特点。该研究通过实验方法制备了不同掺杂比例的氧化锌粉末,并进一步成型为陶瓷靶材。文章分析了材料的微观结构、电学性能及热稳定性,为透明导电薄膜和半导体器件的应用提供了理论依据和技术支持。
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