本文介绍了通过反应磁控溅射技术制备TiAlN/AlON超硬纳米多层涂层的沉积与表征过程。研究旨在开发高性能耐磨涂层，以提升材料在极端环境下的应用性能。通过调控工艺参数，获得了具有优异硬度和稳定性的纳米多层结构。实验采用XRD、SEM和纳米压痕等手段对涂层的结构和性能进行了分析，结果表明该涂层表现出良好的综合性能，具有广阔的应用前景。
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