靶电流对氮化硅陶瓷刀具表面(Ti_Al_Zr)N涂层微观结构和性能的影响 - 第十八届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2026-1-10 09:23 | 查看全部 阅读模式

本文介绍了靶电流对氮化硅陶瓷刀具表面(Ti_Al_Zr)N涂层微观结构和性能的影响。通过调整靶电流,研究了其对涂层硬度、耐磨性及结合力等性能的影响。实验结果表明,适当增加靶电流可改善涂层的致密性和均匀性,从而提升其综合性能。该研究为优化陶瓷刀具涂层工艺提供了理论依据和技术支持。

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靶电流对氮化硅陶瓷刀具表面(Ti_Al_Zr)N涂层微观结构和性能的影响 - 第十八届全国高技术陶瓷学术年会
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