会议论文《适用于TP on-cell多层触控的低温SiNx工艺研究》发表于2014中国平板显示学术会议，主要探讨了在低温条件下制备SiNx薄膜的工艺技术。该研究针对多层触控结构的需求，优化了沉积参数，提升了薄膜的均匀性和附着力，为TP on-cell技术提供了可靠的技术支持，对提高触摸屏性能和良率具有重要意义。
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