会议论文《特种气体在电子行业中的应用》由中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛发表。该文探讨了特种气体在电子制造过程中的关键作用，分析了其在半导体、平板显示及集成电路等领域的应用现状与发展趋势。文章还介绍了特种气体的供应技术、安全管理和环保要求，为行业提供了重要的参考依据。
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