会议论文《Ar等离子体刻蚀绒面结构ZnO_B-TCO薄膜研究》探讨了利用Ar等离子体对ZnO_B-TCO薄膜进行刻蚀，以形成绒面结构，提高其光学性能。该研究针对光伏器件中透明导电氧化物薄膜的表面形貌优化问题，通过实验分析不同工艺参数对薄膜表面结构的影响，为提升光伏电池效率提供了理论依据和技术支持。
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