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微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术 - 2014年全国电火花成形加工技术研讨会.pdf

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2026-1-10 05:21 | 查看全部阅读模式

会议论文《微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术》介绍了LIGA技术在微机械结构制造中的应用。该技术结合了X射线光刻、电镀和注塑成型，能够实现高精度、大批量生产微小结构。文章详细阐述了LIGA工艺流程及其在微电子和微机械领域的优势，为相关研究提供了重要参考。

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微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术 - 2014年全国电火花成形加工技术研讨会.pdf

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一种, 电火花, 微机, 结构, 加工

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