利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2026-1-10 03:03 | 查看全部 阅读模式

会议论文《利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管》介绍了通过自对准硬掩膜技术实现石墨烯场效应管的高效制备。该方法提高了器件的精度和一致性,为石墨烯在电子器件中的应用提供了新途径。研究展示了工艺流程及性能测试结果,对推动石墨烯集成电路的发展具有重要意义。

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利用自对准硬掩膜版制备石墨烯场效应管 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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