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交流电源制备IGZO薄膜及特性研究 - 2014中国平板显示学术会议.pdf

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会议论文《交流电源制备IGZO薄膜及特性研究》发表于2014年中国平板显示学术会议，探讨了采用交流电源技术制备氧化铟镓锌（IGZO）薄膜的工艺及其性能。研究分析了不同电源参数对薄膜结构和电学特性的影响，为IGZO薄膜在显示器件中的应用提供了理论支持和技术参考。

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学术会议, 薄膜, 中国, 特性, 交流电源

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