一种在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计 - 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 01:58 | 查看全部阅读模式

本文介绍了用于在线式化学沉积工艺的药液供给系统设计。该系统旨在提高化学沉积过程的稳定性和效率，确保药液均匀、精确地输送至反应区域。通过优化管道结构和控制策略，有效减少了药液浪费和污染，提升了半导体器件制造的精度与可靠性。

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