会议论文《MOCVD尾气处理、回收纯化和循环使用》探讨了金属有机化学气相沉积（MOCVD）过程中产生的尾气的处理技术。文章介绍了尾气的回收、纯化及循环利用方法，旨在降低生产成本和环境污染。通过高效净化技术，实现了气体的再利用，提高了资源利用率，对推动绿色制造和可持续发展具有重要意义。
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