基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 12:35 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究》探讨了利用四极质谱计测定真空材料放气率的技术方法。该研究针对真空系统中材料放气对真空环境的影响，提出了一种高效、准确的检测方案。通过实验验证，该方法能够有效提升放气率测试的精度与可靠性，为真空技术领域提供了重要的理论支持和实践指导。

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