该会议论文介绍了Al2O3薄膜通过热氧化形成的工艺过程及其缺陷控制方法。研究分析了不同氧化条件对薄膜质量的影响，探讨了如何有效减少薄膜中的缺陷，提高其性能和稳定性。文章为Al2O3薄膜在高温防护和电子器件中的应用提供了理论依据和技术支持。
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