几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

论文《几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比》在第十二届全国敏感元件与传感器学术会议上发表，重点分析了多种MEMS电容传感器的读出电路结构。文章对比了不同电路方案的性能特点，包括灵敏度、线性度和抗干扰能力等关键指标，为MEMS电容传感器的应用提供了理论支持和技术参考。

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2025-12-14 21:58 上传 几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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