该论文介绍了具有pn结复合缓冲层的大功率AlGaN/GaN HEMTs器件的研究成果。通过引入pn结复合缓冲层,有效改善了器件的电学性能和热稳定性,提升了器件的击穿电压和工作电流。研究结果表明,该结构有助于降低漏电流,提高器件可靠性,为大功率电子器件的发展提供了新的思路和技术支持。
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