高性能类金刚石碳膜的制备 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 19:40 | 查看全部 阅读模式

会议论文《高性能类金刚石碳膜的制备》发表于第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛。该文系统研究了类金刚石碳膜的制备工艺,探讨了不同沉积参数对薄膜性能的影响,旨在提高其硬度、耐磨性和附着力。研究成果对推动类金刚石碳膜在精密制造和先进材料领域的应用具有重要意义。

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高性能类金刚石碳膜的制备 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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