硅电容传感器产业化中的几个关键问题 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

论文《硅电容传感器产业化中的几个关键问题》探讨了硅电容传感器在实现产业化过程中面临的主要挑战。文章分析了制造工艺、材料选择、封装技术及性能稳定性等关键因素，提出了优化方案。作者强调了提高传感器一致性与可靠性的必要性，为推动硅电容传感器的广泛应用提供了理论支持和技术指导。

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2025-12-14 19:32 上传 硅电容传感器产业化中的几个关键问题 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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