硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 - 2012年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

该论文介绍了硅微谐振式压力传感器中采用单端口静电激励与电容检测的方法。通过分析传感器的结构和工作原理，研究了如何利用静电激励实现谐振器的振动，并通过电容变化检测压力变化。该方法简化了传感器结构，提高了检测灵敏度和稳定性，为微型化、集成化压力传感器的发展提供了新思路。

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2025-12-14 19:32 上传 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 - 2012年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

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