论文《硅基溅射薄膜传感器研究》发表于第十二届全国敏感元件与传感器学术会议，主要探讨了硅基溅射薄膜在传感器领域的应用。文章分析了薄膜的制备工艺、结构特性及其对传感器性能的影响，提出了优化方案以提高灵敏度和稳定性。研究为高性能传感器的开发提供了理论依据和技术支持，具有重要的工程应用价值。
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