氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf

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2025-12-14 10:55 | 查看全部 阅读模式

论文《氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响》探讨了在制备四面体非晶碳膜过程中,氩气流量对薄膜结构及摩擦性能的影响。研究通过改变氩气流量,分析其对膜层硬度、表面形貌及摩擦系数的作用机制,结果表明适当调整氩气流量可优化薄膜的力学性能和摩擦学性能,为高性能薄膜的制备提供了理论依据。

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氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会
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