氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf

论文《氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响》探讨了在制备四面体非晶碳膜过程中，氩气流量对薄膜结构及摩擦性能的影响。研究通过改变氩气流量，分析其对膜层硬度、表面形貌及摩擦系数的作用机制，结果表明适当调整氩气流量可优化薄膜的力学性能和摩擦学性能，为高性能薄膜的制备提供了理论依据。

文档为pdf格式，0.98MB，总共6页。

2025-12-14 10:55 上传 氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf

文件大小:

1003.52 KB

下载次数:

60

氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf ...

高速下载