GBT 31226-2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法.pdf

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一、基本信息

文档名称:GBT 31226-2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法

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总页数:16页


二、简介

《GBT 31226-2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法》是一项国家标准,规定了利用扫描隧道显微镜(STM)测量气体配送系统部件表面粗糙度的技术方法。该标准适用于微米及纳米级表面形貌的精确分析,为半导体、精密制造等领域提供了重要的检测依据。通过扫描隧道显微术,可以实现对材料表面原子级别的观测与分析,从而准确评估表面粗糙度参数。该方法具有高分辨率和非破坏性特点,能够满足现代工业对表面质量控制的高标准要求。本标准的实施有助于提升相关产品的性能与可靠性,推动行业技术进步。


三、预览

GBT 31226-2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法
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